팬 필터 장치(FFU)

팬 필터 장치는 청정실에 깨끗하고 여과된 공기를 공급하는 전동 장치다. 공기는 팬, 사전 필터, HEPA 또는 ULPA 필터를 통해 흡인되어 미크론 미만의 입자를 필터링하여 깨끗하고 처리된 공기 공급을 한다. 국부적으로 깨끗한 공기를 제공하는 것은 기존 공기 처리 장치(AHU)를 사용하는 것보다 더 에너지 효율적인 경로다.

 

주요 기능

가벼운 디자인

필터의 풍속이 균일해짐

고효율, 저소음 팬 및 모터

다양한 컨트롤러 적용 가능 (On/Off, 3 Step, PWM 등)

 

디자인

일반적으로 4*2, 3*2, 2*2 강철 하우징으로 제조되며 유사한 치수의 천장 그리드 베이에 배치한다. 장치에는 사전 필터와 기타 MERV(최소 효율 보고 값) 필터가 포함되는 경우가 많다. 실내 또는 후드와 같은 밀폐된 워크 스테이션에 분배하기 위해 필터를 통해 공기를 여과한다. 팬 속도는 단계별 또는 가변 저항 모터 조정을 통해 제어된다. 청정도 수준에 따라 필터가 결정된다. 

저속 단방향 흐름 클린룸

 

재순환 캐비닛 팬, 공기 처리기 및 보충 공기 장치를 사용하는 비단방향 흐름 클린룸.

이러한 용도에 사용되는 HEPA 필터는 일반적으로 고속 필터이며,
500fpm(2.54m/s) 필터 면 속도를 기반으로 압력 강하가 크게 감소함
천장 설치에 ​​사용되는 것보다 높습니다. 깨끗한 2피트 × 2피트(600mm × 600mm)
고속 HEPA 필터는 1.5를 가질 수 있습니다.
in.w.c. (375 Pa) 500 fpm에서 압력 강하
(2.54m/초). 전형적인 천정형
깨끗한 필터는 압력 강하를 위해 설계되었습니다.
약 0.5인치 w.c. (125 Pa) 면적당 100fpm(0.51m/s)의 속도.

자료 : Schneider, Raymond K (2001). Designing clean room HVAC systems