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제진대Finance/Term-Definition 2020. 10. 29. 11:40
제진대 미세진동을 다루는 기기 중 하나
제진대 선정 고려시 광학기기용, 정밀계측/계량용, 나노기기용 등으로 분야와 하중에 따라 구분되어있으며 구성은 프레임, 제진장치, 정밀장비 등으로 일체화하여 구매자와 협의하여 주문제작등으로 이루어진다.
선정시
제진대는 주로 1gal이하의 미세진동을 감쇠시키는 장비이며, 제진대가 제진하는 물리적인 진동 주파수범위를 알아야함, 즉 몇 Hz부터 제진을 하고 어느정도 감쇠기능이 발휘되는지 TR곡선(진동전달률 곡선)을 참고한다.
1.액티브제진대(능동형제진대)는 공진주파수가 거의 없고, 1Hz부터 제진을하며 10Hz에서는 0.01(-40dB)까지 제진된다. 현재 가장 이상적인 제진대로 고가이며, AFM, STM 등 nano급 계측용으로 사용됨
2.공압 제진대(패시브제진대)는 공진주파수 2~5Hz범위로 5이후부터 제진을한다. 하중조건/주변환경 요인에 약간씩 변경된다. 압축공기/질소를 사용하며 하중범위가 수kg에서 수ton까지 넓어 소형 탁상형Type에서 중대형 아이솔레이터에 이르기까지 다양한 형태로 사용됨
3.스프링 제진대는 10Hz전후이고, 이후부터 제진을하며 보수유지가 거의 필요없고 온도의 영향도 없다. 제진뿐아니라 방진장치(오디오 스피커)로 적용도 하고 있다.
4.고무류(우레탄/실리콘)은 공진주파수 60Hz에서 대개 100Hz이상의 제품들로 공압식, 스프링식보다 훨씬 공진주파수가 높은 편으로 저주파용100Hz이하에서의 성능이 중요시되는 광학장비, 계측 정밀 장치 등에는 사용되지 않는다. 그러나 형상을 다양하게 제작하며 가격도 저렴해 방진재 등의 용도로 더 많이 사용됨